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手套箱

手套箱是一种实验室设备，将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质，如水、氧、有机气体等。它也被称为真空手套箱、惰性气体保护箱等。手套箱广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等，也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等。在手套箱体内的工作气体通过净化系统的净化柱，再流回到箱体，经过长时间的循环，净化柱把箱体内微量的水、氧分子都逐渐吸收。手套箱体内的工作气体在箱体与净化柱（水氧吸附器）之间，通过管道和循环风机进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时，其所含水分和氧气被吸附掉然后再返回箱体内，随着循环时间的推移，箱体内工作气体中的水氧含量会逐步减少达到小于1ppm的指标。

惰性气体手套箱分为三种

A）真空手套箱：在操作前，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。

B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。

C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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